無壓碳化硅與反應燒結碳化硅密封環生產工藝:
它們的主要不同點:
1、配料:無壓燒結碳化硅采用W0.5碳化硅微粉,而反應燒結碳化硅采用W10+W14的微粉
2、燒結方法不同:無壓碳化硅采用氬氣的氛圍中微正壓燒結,且燒結溫度高達2000多度。而反應碳化硅采用燒結件加硅片在真空中溫度在1500多度燒結。
當然無壓與反應在各個工序內容差別都是很大,且產品性能、生產成本也不一樣的。
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